性能指标：
（1）仪器测量精度：在10 nm处误差为±0.5 nm
（2）光学中心高度：75 mm
（3）允许样品尺寸直径：Φ10~Φ120 mm，厚度≤10 mm
（4）测量范围：1 nm～4000 nm
（5）测量最小值：≤1 nm
（6）镀膜折射率范围：1.3 ~2.49
（7）入射角：40°～90° 误差≤0.05°
（8）偏振器方位角范围：0°～180°
（9）仪器测量精度：在10 nm处误差为±0.5 nm
（10)允许样品尺寸直径：Φ10~Φ120  mm，厚度≤10  mm

适用领域：主要用于薄膜材料的厚度以及光学常数的测试。